绝缘膜乾蚀刻方法

摘要

课题 在椭圆图案的深孔加工,进行改善起因于蚀刻初期的过剩堆积的短径侧的开口性不足的高精度加工。解决手段 一种绝缘膜乾蚀刻方法,属于使用碳氟化合物气体进行处理形成有椭圆图案掩模的被加工试料的绝缘膜乾蚀刻方法,其特征为:将蚀刻步骤从开始蚀刻就分割成第一步骤与第二步骤,第一步骤,是将蚀刻中的聚合物量设定成比第二步骤还少,而且将第一步骤时间,因应于椭圆图案的椭圆率(长径尺寸对于短径尺寸的比率)加以控制。