测试工具,用于分析电路模式之方法,用于设计或制造复数个不同测试工具之方法和用于分析复数个电路模式之方法

摘要

一种测试工具包含至少一个在其上至少具有一个产品电路图案之产品层，及一个或多个形成在该产品层上之同本系层。该一个或多个之同本系层包含复数个结构，其可以包含同本系测试工具电路图案及／或同本系测试工具通路。存在一个或多个同本系层中之一个或多个的缺陷，系产品电路图案的倾向指示器，其影响要形成在产品之产品电路图案上之接续层的良率。