用于整合式光波导电路之晶圆级测试之方法及装置

摘要

本发明揭示一种测试平面光波导电路的方法，藉由将一光探针耦合至平面光波导电路而实现。在一项具体实施例中，第二探针与第一探针结合使用，藉由发送和接收通过平面光波导电路之光束，而测试该平面光波导电路。