| 发明名称 |
Refractive projection objective |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003230593(A8) |
申请公布日期 |
2003.09.16 |
| 申请号 |
AU20030230593 |
申请日期 |
2003.03.03 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
HANS-JURGEN ROSTALSKI;WILHELM ULRICH;RUSSELL HUDYMA;ROLF FREIMANN |
| 分类号 |
G02B13/24;G02B13/14;G02B13/18;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B9/00;G02B3/00 |
主分类号 |
G02B13/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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