| 发明名称 |
METHOD AND SYSTEM FOR OVERLAY MEASUREMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2003209651(A1) |
申请公布日期 |
2003.09.16 |
| 申请号 |
AU20030209651 |
申请日期 |
2003.03.06 |
| 申请人 |
NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD. |
发明人 |
MOSHE FINAROV;DAVID SCHEINER |
| 分类号 |
G01B11/00;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
