| 发明名称 |
Optical measurements of patterned structures |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003209647(A8) |
申请公布日期 |
2003.09.16 |
| 申请号 |
AU20030209647 |
申请日期 |
2003.03.04 |
| 申请人 |
NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD. |
发明人 |
BOAZ BRILL;SHAHAR GOV |
| 分类号 |
G01B11/30;G03F7/20;(IPC1-7):G03B27/54;G01N21/47 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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