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发明名称 PEDESTAL FOR MOUNTING SEMICONDUCTOR FABRICATION EQUIPMENTS
摘要
申请公布号 AU2003214376(A1) 申请公布日期 2003.09.16
申请号 AU20030214376 申请日期 2003.02.27
申请人 TRIKON TECHNOLOGIES LIMITED 发明人 ROBERT, KENNETH TROWELL;GORDON, ROBERT GREEN
分类号 H01L21/02;B23Q1/01;F16M5/00;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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