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摘要
申请公布号
AU2003207866(A8)
申请公布日期
2003.09.16
申请号
AU20030207866
申请日期
2003.02.26
申请人
PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY AND STANDARDS GMBH
发明人
ALBRECHT KRAUS;PETER KLAUS BACHMANN
分类号
C23C16/01;C23C16/27;H01J1/46;H01J9/24;H01J21/10;H01J61/00;H01J63/02;H01J63/08;(IPC1-7):H01J63/02
主分类号
C23C16/01
代理机构
代理人
主权项
地址
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