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"PROCESSO PARA PRODUZIR UM DISPOSITIVO MICROMECâNICO EM MULTICAMADAS E DISPOSITIVO PRODUZIDO PELO MESMO". Um processo para produzir um dispositivo micromecânico em multicamadas. O dispositivo compreende uma cavidade interna contendo um componente micro-mecânico no seu interior. o processo compreende as etapas de formar o componente micro-mecânico de uma camada de um primeiro material, proporcionar uma camada de vedação sobre pelo menos uma superfície do primeiro material para definir a cavidade, proporcionar um material seq³estrante no interior da cavidade, selar o primeiro material às camadas de vedação por ligação anódica, fornecer um gás inerte à cavidade para regular a pressão no interior da cavidade. Um correspondente dispositivo produzido pelo processo é também apresentado.
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