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发明名称
REFRACTIVE PROJECTION LENS WITH A MIDDLE PART
摘要
申请公布号
AU2003208872(A1)
申请公布日期
2003.09.16
申请号
AU20030208872
申请日期
2003.02.19
申请人
CARL ZEISS SMT AG
发明人
KARL-HEINZ SCHUSTER
分类号
G02B13/14;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
G02B13/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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