发明名称 REFRACTIVE PROJECTION LENS WITH A MIDDLE PART
摘要
申请公布号 AU2003208872(A1) 申请公布日期 2003.09.16
申请号 AU20030208872 申请日期 2003.02.19
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 KARL-HEINZ SCHUSTER
分类号 G02B13/14;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G02B13/14
代理机构 代理人
主权项
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