SUSPENSION ZUM CHEMISCH-MECHANISCHEN POLIEREN MIT FLUORIERTEN ADDITIVEN UND VERFAHREN ZUR BENUTZUNG DIESER SUSPENSION,申请号AT19970303836T-传众专利搜索

发明名称	SUSPENSION ZUM CHEMISCH-MECHANISCHEN POLIEREN MIT FLUORIERTEN ADDITIVEN UND VERFAHREN ZUR BENUTZUNG DIESER SUSPENSION
摘要
申请公布号	AT247700(T)	申请公布日期	2003.09.15
申请号	AT19970303836T	申请日期	1997.06.04
申请人	CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION	发明人	STREINZ, CHRISTOPHER C.;MUELLER, BRIAN L.;LUCARELLI, MICHAEL A.;WALTERS, MAX H.
分类号	B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;C09K13/04;H01L21/304;H01L21/321;H01L21/3213;(IPC1-7):C09G1/02;H01L21/306	主分类号	B24B37/00
代理机构		代理人
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