发明名称 ABRASTERUNGSTECHNIKEN IN PARTIKELSTRAHL- VORRICHTUNGEN ZUR MINDERUNG VON DURCH OBERFLÄCHENLADUNGSANSAMMLUNG HERVORGERUFENEN EFFEKTEN
摘要
申请公布号 AT249097(T) 申请公布日期 2003.09.15
申请号 AT19940902485T 申请日期 1993.12.02
申请人 METROLOGIX 发明人 MONAHAN, KEVIN, M.
分类号 H01J37/147;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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