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发明名称 VERFAHREN ZUR MASKIERUNG VON SILIZIUM FÜR EINE ANISOTROPE NASSÄTZUNG
摘要
申请公布号 AT433196(T) 申请公布日期 2009.06.15
申请号 AT20010600006T 申请日期 2001.03.13
申请人 NATIONAL CENTER FOR SCIENTIFIC RESEARCH DEMOKRITOS INSTITUTE OF MICROELECTRONICS;NORMAND, PASCAL;TSOUKALAS, DIMITRIOS 发明人 NORMAND, PASCAL;BELTSIOS, KONSTANTINOS;TSEREPI, ANGELIKI;AIDINIS, KONSTANTINOS;TSOUKALAS, DIMITRIOS
分类号 H01L21/308;H01L21/306;H01L21/312 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
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