照明光学系统、曝光装置以及元件制造方法

摘要

一种照明光学系统，为利用由光源1所供给的照明光而对被照射面M进行照明之照明光学系统，包括空间光调变器S1及扩散器4。空间光调变器S1配置在照明光学系统的光路内，并在照明光学系统的光瞳位置或与光瞳位置光学共轭的位置处形成所需的光强度分布。扩散器4设置在空间光调变器S1的照明光的入射侧，并使入射空间光调变器S1的照明光进行扩散。