发明名称 METHOD FOR REDUCING THE TRAP DENSITY IN A SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 KR100905976(B1) 申请公布日期 2009.07.06
申请号 KR20077017943 申请日期 2007.08.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/324;H01L21/28 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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