| 主权项 |
1.一种真空排气阀,其特征为,具有:用来连接在真空反应室的反应室出入口;用来连接在真空泵的泵出入口;具有该等出入口的壳体;将上述反应室出入口和泵出入口加以连结的流路中的阀座;开闭上述阀座的阀体;透过轴而被连结在上述阀体上的活塞;用来使开阀方向的大气压力作用在上述活塞的压力作用室;及,将上述阀体朝闭阀方向弹出去的弹簧手段;而上述阀体,具有:藉由接离在上述阀座而以旋床头式开闭该阀座的阀密封构件、及嵌合上述阀座的内孔内藉着上述阀体密封构件的开闭使该内孔内位移的柱状流量调整部;在连接该流量调整部的位置上具有较该流量调整部大径的卡止部,上述流量调整部系藉由被逐渐形成为尖细状,而具有当上述阀体密封构件开放时使流过流路的气体流量慢慢增大的机能,并在上述阀座的内孔内,形成嵌合、卡止上述卡止部的段部,利用该等卡止部与段部构成限制上述阀体的闭阀位置。2.如申请专利范围第1项之真空排气阀,其中上述阀体在与上述流量调整部,在轴线方向上连续具备有陡度不同的复数个圆锥面。3.如申请专利范围第1项之真空排气阀,其中上述阀体的流量调整部,藉由光滑的曲面而被逐渐地形成尖细状。图式简单说明:第1图系表示关于本创作的真空排气阀在第1实施例的闭阀状态下的剖面图。第2图系表示关于本创作的真空排气阀的阀体移动量和排气流量之间的关系的特性图。第3图系表示关于本创作的真空排气阀在第2实施例的闭阀状态下的重要部位剖面图。第4图系表示关于本创作的真空排气阀在第3实施例的闭阀状态下的重要部位剖面图。第5图系表示习知的真空排气阀的阀体移动量和排气流量之间的关系的特性图。 |
