发明名称 以形成于沉积的初始及最终阶段的不同成份形成复合蒸气沉积膜的方法,该膜的复合蒸气沉积材料,及其制造方法
摘要 揭示一种用于形成复合蒸气沉积膜,适用于蒸气沉积在诸如彩色电视图像管之CRT的磷表面上之一面具有高度之光反射率,而其另一侧则其有吸收辐射热之特性,以及一种适用于真空沉积之复合蒸气沉积材料,该复合蒸气沉积材料具有高蒸气压力金属包封物及在该包封物之心区中之低蒸气压力金属;较佳地,低蒸气压力金属粉应由高蒸气压力金属粉分散及保持在该心区中,利用此复合蒸气沉积材料之真空沉积会产生一种复合沉积膜,该复合沉积膜具有一成份,该成份含有在蒸发之初始阶段中所形成之几乎100%的高蒸气压力金属,及具有一成份,该成份含有在蒸发之最后阶段中所形成之几乎1005的低蒸气压力金属。
申请公布号 TW552309 申请公布日期 2003.09.11
申请号 TW089104853 申请日期 2000.03.16
申请人 日立金属股份有限公司 发明人 古市真治;高岛重利
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种具有形成于蒸发之初始及最终阶段的不同膜成份之复合蒸气沉积膜的形成方法,包含下列步骤:在降低之压力下加热具有高蒸气压力金属本体及保持在该高蒸气压力金属本体之心区中之低蒸气压力金属的复合蒸气沉积材料;以及蒸发该高及低蒸气压力金属以沉积在欲沉积之基体之上。2.如申请专利范围第1项之复合蒸气沉积膜的形成方法,其中该低蒸气压力金属系藉高蒸气压力金属粉分散及保持于该蒸气压力金属本体之心区中之粉。3.如申请专利范围第2项之复合蒸气沉积膜的形成方法,其中该高蒸气压力金属本体及该高蒸气压力金属粉系相同之金属。4.如申请专利范围第3项之复合蒸气沉积膜的形成方法,其中该高蒸气压力金属系比该低蒸气压力金属更具延展性。5.如申请专利范围第3项之复合蒸气沉积膜的形成方法,其中含有该低蒸气压力金属粉之该心区系由仍低之蒸气压力金属所包封。6.如申请专利范围第3项之复合蒸气沉积膜的形成方法,其中该高蒸气压力金属系铝或其合金,以及该低蒸气压力金属粉系至少一选取自含有碳,矽,铬,镍,铁,钴,钛,铼,钨及钒之群的元素。7.如申请专利范围第1项之复合蒸气沉积膜的形成方法,其中该复合蒸气沉积材料具有低蒸气压力巨块金属于其心区中,且一更具延展性之高蒸气压力金属包封物包封该心区。8.如申请专利范围第7项之复合蒸气沉积膜的形成方法,其中该复合蒸气沉积材料具有包封该心区之仍低蒸气压力金属。9.如申请专利范围第7项之复合蒸气沉积膜的形成方法,其中该高蒸气压力金属系铝或其合金;以及该低蒸气压力巨块金属系至少任一选取自含有铍,锡,金,铁,钴,镍,钛,铂,铑,铌,钽,铼及钨之群的元素。10.一种复合蒸气沉积材料,用以形成具有形成于蒸发之初始及最终阶段的不同成份复合沉积膜,包含高蒸气压力金属本体及保持于该高蒸气压力金属本体之心区中之低蒸气压力金属。11.如申请专利范围第10项之复合蒸气沉积材料,其中该低蒸气压力金属系藉高蒸气压力金属粉分散及保持在该高蒸气压力金属本体之心区中的粉。12.如申请专利范围第11项之复合蒸气沉积材料,其中该高蒸气压力金属本体与该高蒸气压力金属粉系相同的金属。13.如申请专利范围第12项之复合蒸气沉积材料,其中该高蒸气压力金属系比该低蒸气压力金属更具延展性。14.如申请专利范围第13项之复合蒸气沉积材料,其中具有腔穴于其中之高蒸气压力金属包封物及封装于该腔穴中之高蒸气压力金属粉与低蒸气压力金属粉之混合物系整合地冷加工以形成复合结构,其中该低蒸气压力金属粉系藉该高蒸气压力金属粉分散及保持于高蒸气压力金属本体之心区中。15.如申请专利范围第14项之复合蒸气沉积材料,其中在该冷加工法中之总降低比例不小于75%。16.如申请专利范围第15项之复合蒸气沉积材料,其中该冷加工法系冷线抽引法。17.如申请专利范围第14项之复合蒸气沉积材料,其中该高蒸气压力金属系铝或其合金,以及该低蒸气压力金属粉系至少一选取自含有碳,矽,铬,镍,铁,钴,钛,铼,钨及钒之群的元素。18.如申请专利范围第12项之复合蒸气沉积材料,其中含有该低蒸气压力金属粉之该心区系由仍低蒸气压力金属所包封。19.如申请专利范围第10项之复合蒸气沉积材料,其中该高蒸气压力金属本体具有更延展之高蒸气压力金属包封物及在其心区中之低蒸气压力巨块金属。20.如申请专利范围第19项之复合蒸气沉积材料,其中该复合蒸气沉积材料具有包封该心区之仍低蒸气压力金属。21.如申请专利范围第19项之复合蒸气沉积材料,其中该高蒸气压力金属系铝或其合金,以及该低蒸气压力巨块金属系至少一选取自含有铍,锡,金,铁,钴,镍,钛,铂,铑,铌,钽,铼及钨之群的元素。22.一种复合蒸气沉积材料之制造方法,包含下列步骤:以其蒸气压力比铝或铝合金低之金属粉来混合铝或其合金之粉;封装该等粉的混合物于铝或铝合金所制成之包封物之内;以及冷加工该包封物以降低其直径而取得该低蒸气压力金属粉系分散于该包封物之心区中的复合结构。23.如申请专利范围第22项之复合蒸气沉积材料之制造方法,其中该冷加工法系冷线抽引法。24.如申请专利范围第22项之复合蒸气沉积材料之制造方法,其中该低蒸气压力金属粉系至少一选取自含有碳,矽,铬,镍,铁,钴,钛,铼,钨及钒之群的元素。25.如申请专利范围第24项之复合蒸气沉积材料之制造方法,其中该粉混合物之静置角度在45度之下。26.如申请专利范围第25项之复合蒸气沉积材料之制造方法,其中在该冷线抽引法中之总降低比例系不小于75%。27.如申请专利范围第25项之复合蒸气沉积材料之制造方法,包含下列步骤:以一末端闭合来封装该粉混合物于铝或铝合金所制成之各复数包封物之内;提供透气柱塞以用于防止该粉混合物流出于各包封物之另一端,且接着于冷线抽引各包封物来降低其直径;切除各包封物之含有其闭合部件之末端;连接复数之该等包封物于其切除部分处;以及进一步地冷线抽引所连接之包封物以取得其中该低蒸气压力金属粉系分散于该铝或铝合金本体之心区中之复合结构。28.如申请专利范围第27项之复合蒸气沉积材料之制造方法,其中该冷线抽引法中之总降低比例系不小于75%。图式简单说明:第1图系本发明第一实施例中之复合蒸气沉积材料的透视图;第2图系本发明第一实施例中之复合蒸气沉积材料的横剖面视图;第3图系辅助解说根据本发明之复合材料的制造方法之方块图;第4图系辅助解说根据本发明之复合材料的制造方法之概略图;第5图系本发明另一实施例中之复合蒸气沉积材料的透视图;第6图系本发明又一实施例中之复合蒸气沉积材料的透视图;第7图系图表,显示用于制造根据本发明之复合材料之冷钢丝拉延法之连续步骤中,晶粒切开之直径,Rd(毫米)与降低比例,Red(%)间的关系。第8图系图表,显示相对于所沉积膜深度(埃)之利用根据本发明之复合材料与复合蒸气材料所沉积之沉积膜的铝含量(%)以用于比较;以及第9图系图表,显示根据本发明所制备之复合沉积膜的反射率。
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