| 主权项 |
1.一种光罩,该光罩系包括位于一透明基底上,由遮光金属薄膜所形成的遮光图型,其中该光罩进一步包括以钽为主成分的半透明图型,该含钽材料系选自矽化钽、氧化钽、氮化钽或该等混合物。2.如申请专利范围第1项之光罩,其中,在该半透明图型层与该遮光图型层之间设有一中间层。3.如申请专利范围第2项之光罩,其中,该中间层系由氧化矽所制成。图式简单说明:第1图系显示本发明之光罩的剖面图。第2图系显示利用本发明之光罩所形成的光阻图型。第3a图至第3c图的剖面图系显示制作本发明之光罩的步骤。第4a图至第4d图的剖面图系显示接续第3图中制作本发明之光罩的步骤。第5a图至第5c图显示利用本发明之光罩来实施图型转移的步骤。第6a图至第6c图系显示接续第5图中利用本发明之光罩来实施图型转移的步骤。 |
