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发明名称
Verfahren zur Herstellung von Stickstofftrifluorid durch Gas-Feststoffreaktion
摘要
申请公布号
DE69910113(D1)
申请公布日期
2003.09.11
申请号
DE19996010113
申请日期
1999.05.20
申请人
CENTRAL GLASS CO., LTD.
发明人
TOKUNAGA, NOBUYUKI;MOROI, SHIROU;KOJIMA, KEIZO
分类号
H01L21/302;C01B21/083;(IPC1-7):C01B21/083
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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