发明名称 |
Materialbearbeitungssystem, Materialbearbeitungsverfahren und Gaszuführung hierfür |
摘要 |
Es wird ein Materialbearbeitungssystem zur Bearbeitung eines Werkstücks (3) vorgeschlagen. Die Materialbearbeitung erfolgt durch Zuführung eines Reaktionsgases und energetische Strahlung zur Anregung des Reaktionsgases in eine Umgebung eines zu bearbeitenden Ortes des Werkstücks. Die Strahlung wird vorzugsweise durch ein Elektronenmikroskop (15) bereitgestellt. Eine Objektivlinse (27) des Elektronenmikroskops liegt vorzugsweise zwischen einem Detektor (41) desselben und dem Werkstück. Eine Gaszuführungsanordnung (53) des Materialbearbeitungssystems weist ein mit Abstand von dem Bearbeitungsort angeordnetes Ventil auf, wobei ein Gasvolumen zwischen dem Ventil und einem Austrittsort (59) des Reaktionsgases klein ist. DOLLAR A Die Gaszuführungsanordnung weist ferner ein temperiertes, insbesondere gekühltes Reservoir zur Aufnahme eines Ausgangsmaterials für das Reaktionsgas auf.
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申请公布号 |
DE10208043(A1) |
申请公布日期 |
2003.09.11 |
申请号 |
DE20021008043 |
申请日期 |
2002.02.25 |
申请人 |
LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH;NAWOTEC GMBH |
发明人 |
KOOPS, HANS W. P.;HOFFROGGE, PETER |
分类号 |
H01J37/18;H01J37/30;H01J37/305;(IPC1-7):H01J37/317;H01J37/301;C23F4/00 |
主分类号 |
H01J37/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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