| 摘要 |
Wynalazek ujawnia układ modułowy urządzeń do magnetronowego napylania próżniowego i urządzenie modułowe do magnetronowego napylania próżniowego, przeznaczone do napylania cienkich powłok przeciwzużyciowych na powierzchniach metali. Układ modułowy urządzeń do magnetronowego napylania próżniowego, składający się z modułu komory próżniowej, modułu zasilacza magnetronu, modułu zasilacza gazów technologicznych, modułu pompy próżniowej, modułu chłodzenia wody, modułu sterowania, charakteryzuje się tym, że moduł komory próżniowej (MKP) stanowi jeden z wielu wymiennych modułów, z których każdy dostosowany jest do określonego zakresu gabarytów napylanego elementu i/lub technologii napylania. Urządzenie modułowe do magnetronowego napylania próżniowego, składające się z modułu komory próżniowej, zasilacza magnetronu, zasilacza gazów technologicznych, pompy próżniowej, modułu chłodzenia wody, zasilacza czyszczenia jarzeniowego, zasilacza prądu podkładu, zasilacza grzałek oraz sterownika, charakteryzuje się tym, że stanowi je blok urządzeń (1), moduł chłodzenia wody (2) oraz wymienny moduł komory próżniowej (4) wybrany spośród wielu będących na wyposażeniu urządzenia modułów komór próżniowych (4, 5, 6), z których każdy dostosowany jest do określonego zakresu gabarytów napylanego elementu i/lub technologii napylania. |
