Vorrichtung und Verfahren zum Ausbilden von Patterns

摘要

Eine Muster- bzw. Patternbildungsvorrichtung umfasst eine Zeichenkammer (11) mit einem Zeichensubstrat, auf das ein Originalmuster gezeichnet wird, eine erste Temperatursteuereinheit (15, 47) mit einem ersten Temperaturregler (15), um die Temperatur der Zeichenkammer (11) konstant zu halten, und ein Konstanttemperaturelement (31), das nahe bzw. neben dem Zeichensubstrat angeordnet ist. Die Musterbildungsvorrichtung umfasst ferner eine zweite Temperatursteuereinheit (35, 47) mit einem zweiten Temperaturregler (35). Die zweite Temperatursteuereinheit (35, 47) ist so konfiguriert, dass sie die eingestellte Temperatur des Konstanttemperaturelements (31) unabhängig so steuert, dass die Temperatur des Zeichensubstrats im Wesentlichen konstant wird, wenn das Originalmuster gezeichnet wird.