| 摘要 |
본 발명은 기판의 이동을 위한 위치 설정 장치에 관한 것이며, 상기 위치 설정 장치는, 기부(10)와, 기부(10)에 대해 상대적으로 이동 가능하며 자기 베어링(18)을 이용하여 무접촉식으로 기부(10)에 배치된 캐리어(12)를 구비하며, 상기 자기 베어링(18)은 하나 이상의 영구 자석 유닛(20) 및 하나 이상의 제1 전자석 유닛(30)을 포함하며, 영구 자석 유닛(20)은 캐리어(12) 상으로 작용하고 캐리어(12)의 중량(G)보다 큰 지지력(S)의 생성을 위해 구성되며, 제1 전자석 유닛(30)은 지지력(S)에 반작용하는 조절력(R)의 생성을 위해 구성된다. |
