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发明名称 HIGH TARGET UTILIZATION MAGNETIC ARRANGEMENT FOR A TRUNCATED CONICAL SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号 EP1144713(B1) 申请公布日期 2003.09.10
申请号 EP20000977103 申请日期 2000.11.10
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 RUSSELL, DERREK, ANDREW
分类号 C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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