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发明名称 LAYERS IN SUBSTRATE WAFERS
摘要
申请公布号 EP1342264(A2) 申请公布日期 2003.09.10
申请号 EP20010985370 申请日期 2001.12.06
申请人 IHP GMBH-INNOVATIONS FOR HIGH PERFORMANCE MICROELECTRONICS/INSTITUT FUER INNOVATIVE MIKROELEKTRONIK 发明人 HEINEMANN, BERND;EHWALD, KARL-ERNST;KNOLL, DIETER;TILLAK, BERND;WOLANSKY, DIRK;SCHLEY, PETER
分类号 H01L21/8238;H01L21/265;H01L21/74;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/092;H01L29/10;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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