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发明名称 Method for wet etching oxides and/or insulators
摘要
申请公布号 EP1073105(A3) 申请公布日期 2003.09.10
申请号 EP20000115887 申请日期 2000.07.25
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 MARSHALL, DANIEL SCOTT;SALEM, LUCIA R.;THOMPKINS, HARLAND G.
分类号 H01L21/306;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/311;H01L21/465;H01L41/24 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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