全光型硅微谐振式二维加速度传感器

摘要

全光型硅微谐振式二维加速度传感器，采用光拾振与光激励结合，包括敏感结构、质量块和信号获取与处理电路，以单晶硅片为基板一体化三维集成。敏感结构为支撑梁和谐振梁构成的法－珀腔，对称分布在质量块四周，支撑梁由四根悬臂梁、悬臂梁上的PN结和金属反射膜构成，谐振梁由单晶硅梁及其上的金属反射膜构成，信号线由单晶硅梁上的PN结引出。本传感器兼具光纤传感器的诸多优点，其输出信号的是谐振频率，可与数字电路及计算机直接接口，处理电路简化，降低了检测难度，具有很高的抗干扰能力和稳定性，在传输过程中不易产生失真误差，功耗低，还具有灵敏度高，精度高等优点。

主权项

1、全光型硅微谐振式二维加速度传感器，包括敏感结构、质量块和信号获取与处理电路，其特征在于上述各部分都是以单晶硅片为基板，经微加工成型的整体；所述的敏感结构为支撑梁和谐振梁构成的法-珀腔，对称分布在质量块四周；支撑梁由四根悬臂梁、悬臂梁上的PN结和金属反射膜构成，谐振梁由单晶硅梁及其上的金属反射膜构成，信号线由单晶硅梁上的PN结引出。