IMIDE COMPOUND AND CHEMICALLY AMPLIFIED RESIST COMPOSITION CONTAINING THE SAME

摘要

본 발명은 식 (I)로 나타낸 이미드 화합물: 여기서, R은 C1-C20 지방족성 탄화수소기 등을 나타내고, W은 -CO-O- 등을 나타내고, Q및 Q는 각각 독립적으로 불소 원자 등을 나타내고, 그리고 A는 식 (I-1)로 나타낸 기를 나타냄: 여기서, A은 -CH-CH- 등을 나타냄, 및 이를 포함하는 화학적으로 증폭된 레지스트 조성물에 관한 것이다.