| 摘要 |
본 발명은 레이저 광의 단면 형상을 확대하는 제1 플라이아이렌즈(2)와, 제1 플라이아이렌즈(2)의 레이저 광의 입사측에 배치되고 제1 플라이아이렌즈(2)의 각 집광 렌즈(2a)에 각각 입사하는 레이저 광에 위상 차를 생기게 하는 제1 위상 차 발생 수단(3)과, 제1 플라이아이렌즈(3)에서 조사된 레이저 광을 평행 광으로 하는 콘덴서 렌즈(4)와, 레이저 광에 의한 포토마스크의 조명 영역 내의 광 강도 분포를 균일하게 하는 제2 플라이아이렌즈(6)와, 제2 플라이아이렌즈(6)의 레이저 광의 입사측에 배치되고 제2 플라이아이렌즈(6)의 각 집광 렌즈(6a)에 각각 입사하는 레이저 광에 위상 차를 생기게 하는 제2 위상 차 발생 수단(7)을 구비한 것이다. 이에 따라, 플라이아이렌즈에 의하여 발생하는 레이저 광의 간섭 무늬를 평균화하는 동시에, 레이저 광의 조도 불균일을 저감시킨다. |
