发明名称 |
Estructura de capa de pasivación de dispositivo semiconductor y método de formación de la misma |
摘要 |
Una estructura de capa de pasivación de un dispositivo semiconductor (100) que se dispone sobre un sustrato semiconductor, que comprende: una estructura de capa de pasivación dispuesta sobre el sustrato semiconductor, caracterizada porque la estructura de la capa de pasivación comprende una capa de óxido de aluminio dopado con halógeno (110) y el sustrato semiconductor es una capa semiconductora de tipo p (102). |
申请公布号 |
ES2577611(T3) |
申请公布日期 |
2016.07.15 |
申请号 |
ES20110003196T |
申请日期 |
2011.04.15 |
申请人 |
Industrial Technology Research Institute |
发明人 |
Sun, Wen-Ching;Lin, Tzer-Shen;Yu, Sheng-Min |
分类号 |
H01L31/0216;C01F7/30;C23C18/12;H01L21/02;H01L31/048;H01L31/068;H01L31/18 |
主分类号 |
H01L31/0216 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|