| 发明名称 |
METHOD AND SYSTEM FOR CONTROLLING THE CHEMICAL MECHANICAL POLISHING OF SUBSTRATES BY CALCULATING AN OVERPOLISHING TIME AND/OR A POLISHING TIME OF A FINAL POLISHING STEP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002364041(A1) |
申请公布日期 |
2003.09.09 |
| 申请号 |
AU20020364041 |
申请日期 |
2002.12.20 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES, INC. |
发明人 |
DIRK WOLLSTEIN;JAN RAEBIGER;GERD MARXSEN |
| 分类号 |
B24B51/00;B24B37/04;B24B49/03;H01L21/304;(IPC1-7):B24B49/03 |
主分类号 |
B24B51/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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