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发明名称 ELECTROSTATIC MICRO ACTUATOR
摘要
申请公布号 AU2002334440(A1) 申请公布日期 2003.09.09
申请号 AU20020334440 申请日期 2002.09.26
申请人 M2N INC. 发明人 KYU-HO HWANG
分类号 H02N1/00;(IPC1-7):H02N1/00 主分类号 H02N1/00
代理机构 代理人
主权项
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