发明名称 VAPOR DEPOSITION METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE
摘要
申请公布号 KR20030071651(A) 申请公布日期 2003.09.06
申请号 KR20030013100 申请日期 2003.03.03
申请人 发明人
分类号 H05B33/10;C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/40;H01L51/50;H01L51/56 主分类号 H05B33/10
代理机构 代理人
主权项
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