| 发明名称 |
PROCEDE DE CREATION D'UN ETAGE DE CIRCUIT INTEGRE OU CONEXISTENT DES MOTIFS FINS ET LARGES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2810447(B1) |
申请公布日期 |
2003.09.05 |
| 申请号 |
FR20000007718 |
申请日期 |
2000.06.16 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
DELEONIBUS SIMON |
| 分类号 |
G03F7/26;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/8234;(IPC1-7):H01L21/266;H05K3/46 |
主分类号 |
G03F7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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