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Ein kapazitiver Beschleunigungssensor beinhaltet ein Trägersubstrat (11), ein bewegliches Teil (20) und zwei feststehende Teile (30, 40). Das bewegliche Teil (20) bewegt sich als Reaktion auf eine Kraft, die auf das bewegliche Teil (20) wirkt. Jedes feststehende Teil (30, 40) ist unter der Kraft feststehend. Zwei Kapazitäten sind zwischen dem beweglichen Teil (20) und den feststehenden Teilen (30, 40) ausgebildet. Eine der Kapazitäten erhöht sich, während sich die andere verringert, wenn sich das bewegliche Teil (20) als Reaktion auf die Kraft bewegt. Die Kraft beinhaltet eine im wesentlichen konstante Kraft und eine veränderbare Kraft, wenn eine Beschleunigung unter Verwendung des Sensors gemessen wird. Die veränderbare Kraft ist proportional zu der Beschleunigung. Die Beschleunigung wird auf der Grundlage der Differenz zwischen den Kapazitäten gemessen. Die Kapazitäten sind zueinander unterschiedlich, wenn die Kraft, die auf das bewegliche Teil (20) wirkt, null ist, um die Differenz zwischen den Kapazitäten zu verringern, die der im wesentlichen konstanten Kraft entpricht. |
