Verfahren zur Erzeugung von porösem Material mit periodischer Porenanordnung
摘要
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung von hochgeordneten Porenstrukturen in porösem Aluminiumoxid unter Verwendung eines Nanoimprint-Stempels, sowie ein Verfahren zur Herstellung des Stempels und den Stempel selbst.
申请公布号
DE10207952(A1)
申请公布日期
2003.09.04
申请号
DE20021007952
申请日期
2002.02.25
申请人
MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V.