发明名称 Verfahren zur Erzeugung von porösem Material mit periodischer Porenanordnung
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung von hochgeordneten Porenstrukturen in porösem Aluminiumoxid unter Verwendung eines Nanoimprint-Stempels, sowie ein Verfahren zur Herstellung des Stempels und den Stempel selbst.
申请公布号 DE10207952(A1) 申请公布日期 2003.09.04
申请号 DE20021007952 申请日期 2002.02.25
申请人 MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V. 发明人 WEHRSPOHN, RALF;GOESELE, ULRICH M.;NIELSCH, KORNELIUS;CHOI, JINSUB;REICHE, MANFRED;ALEXE, MARIN
分类号 B41M3/00;(IPC1-7):H01L21/306;B81C1/00 主分类号 B41M3/00
代理机构 代理人
主权项
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