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发明名称 KONDENSATIONSBESCHICHTUNGSVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE50100443(D1) 申请公布日期 2003.09.04
申请号 DE20015000443 申请日期 2001.02.15
申请人 AIXTRON AG 发明人 JUERGENSEN, HOLGER;KAEPPELER, JOHANNES;STRAUCH, GERT;SCHMITZ, DIETMAR
分类号 C23C16/448;C23C16/46;C23C16/52;(IPC1-7):C23C16/448 主分类号 C23C16/448
代理机构 代理人
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