| 发明名称 |
RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002367625(A1) |
申请公布日期 |
2003.09.04 |
| 申请号 |
AU20020367625 |
申请日期 |
2002.12.13 |
| 申请人 |
JSR CORPORATION |
发明人 |
SHIN-ICHIRO IWANAGA;SATOSHI IWAMOTO;TOORU KIMURA;HIROKO NISHIMURA;KOJI NISHIKAWA |
| 分类号 |
G03F7/027;C08F290/12;G03F7/004;G03F7/033;G03F7/40;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/027;H01L21/288;H05K3/00 |
主分类号 |
G03F7/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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