| 发明名称 |
Leitfähige Barriereschicht aus einem amorphen Nitrid als Elektrode für Material mit hoher dielektrischen Konstante |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69529368(T2) |
申请公布日期 |
2003.09.04 |
| 申请号 |
DE19956029368T |
申请日期 |
1995.07.28 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS |
发明人 |
SUMMERFELT, SCOTT R. |
| 分类号 |
H01G4/12;H01G4/012;H01G4/33;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/04;H01L27/105;H01L27/108;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/320;H01L29/92 |
主分类号 |
H01G4/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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