| 摘要 |
<p>L'invention concerne un distributeur de gaz à pointe comprenant de préférence une pluralité de trous à spirale et une pluralité de trous de gaz secondaires, les trous à spirale dirigeant un gaz plasma afin de générer un courant plasma, et les trous de gaz secondaires dirigeant un gaz secondaire afin de stabiliser le courant plasma. Outres cela, un distributeur de gaz à pointe est doté de passages à spirale formés entre le distributeur de gaz à pointe et un composant adjacent de manière à générer et à stabiliser le courant plasma. De plus, l'invention porte sur des procédés de génération et de stabilisation du courant plasma par l'utilisation de trous et de passages à spirale, ainsi que de trous et de passages de gaz secondaires.</p> |
