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Die Erfindung betrifft ein Beleuchtungssystem, das eine Lichtquelle und eine Feldebene aufweist für Wellenlängen 193 nm, insbesondere < 126 nm, besonders bevorzugt im EUV-Bereich, umfassend DOLLAR A wenigstens einen Kollektor, umfassend wenigstens eine um eine Achse rotationssymmetrisch angeordnete Spiegelschale zur Aufnahme eines Teiles des Lichtes der Lichtquelle, so dass eine im Lichtweg nach dem Kollektor angeordnete Aperturblendenebene annular ausgeleuchtet wird. DOLLAR A Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass DOLLAR A wenigstens eine Spiegelschale derart ausgebildet ist, dass ein helles Bild der Lichtquelle in einer zur Feldebene defokussierten Ebene ausgebildet wird, so dass die Feldebene in einem vorgegebenen Bereich weitgehend homogen ausgeleuchtet wird.
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