发明名称 Werkzeug für eine kontaktfreie Halterung von plattenförmigen Substraten
摘要
申请公布号 DE69909893(D1) 申请公布日期 2003.09.04
申请号 DE1999609893 申请日期 1999.05.14
申请人 SEZ AG, VILLACH 发明人 FREY, HELMUT ING.
分类号 H01L21/677;B25J15/06;B65G49/07;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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