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发明名称 Vorstufenlösung zur Herstellung einer Dünnschicht aus einem ferroelektrischen Material und Verfahren zur Herstellung
摘要
申请公布号 DE69909875(D1) 申请公布日期 2003.09.04
申请号 DE1999609875 申请日期 1999.03.26
申请人 KRI INTERNATIONAL, INC. 发明人 AIZAWA, MAMORU
分类号 C04B35/49;C04B35/491;C07F7/24;C07F7/28;C08G79/14;C09D185/00;C09K3/00;C23C18/12;G11B5/62;H01B3/00;H01B3/12;H01L21/02;(IPC1-7):C23C18/12 主分类号 C04B35/49
代理机构 代理人
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