III-V-Verbindungshalbleiter, Verfahren zu seiner Herstellung und ihn verwendendes Verbindungshalbleiterelement

摘要

Bereitgestellt wird ein ausgezeichneter p-leitender nitridartiger III-V-Verbindungshalbleiter mit ausgezeichneten elektrischen Eigenschaften, z. B. einem geringen Übergangswiderstand zu einem Elektrodenmetall, einem geringen ohmschen Widerstand usw., durch Wärmebehandlung eines mit p-leitendem Dotant dotierten nitridartigen III-V-Verbindungshalbleiters in einer wasserstoffhaltigen Gasatmosphäre mit einer spezifischen Konzentration.