发明名称 A SUSCEPTOR PROVIDED WITH INDENTATIONS AND AN EPITAXIAL REACTOR WHICH USES THE SAME
摘要
申请公布号 AU2003208826(A1) 申请公布日期 2003.09.04
申请号 AU20030208826 申请日期 2003.02.10
申请人 LPE SPA 发明人 FRANCO PRETI
分类号 C23C16/458;C23C16/46;C30B25/12;(IPC1-7):C30B25/12 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
主权项
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