发明名称 |
AN ARTIFICIAL ENVIRONMENT MODULE |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2003205896(A1) |
申请公布日期 |
2003.09.04 |
申请号 |
AU20030205896 |
申请日期 |
2003.02.14 |
申请人 |
BOOKHAM TECHNOLOGY PLC |
发明人 |
ANDREW LEECH;PHIL THURMAN;XUE YONGKUAN |
分类号 |
G05D23/19;H01L31/024;H01L33/64;(IPC1-7):G05D23/19 |
主分类号 |
G05D23/19 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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