一种量程可达200万m/s<SUP>2</SUP>的微机械加速度传感器

摘要

本实用新型涉及一种量程可达200万m/s²以上的微机械加速度传感器。其特征在于由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻、框架及上、下玻璃盖板构成；由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻构成的敏感芯片封装在框架中，并且上、下玻璃盖板键合在一起；敏感芯片采用结构对称的双端固支的双质量块；3个敏感薄板的长度相等，其宽度与质量块的宽度相同；压敏电阻设计成单一直线条状，其中外侧的两条安置于敏感薄板梁与锚区交界处，另外两条设置在薄板的中间。所提供的传感器的固有频率可达700KHz以上，且不使灵敏度下降，避开了常规设计中两者不可协调的矛盾。

主权项

1.一种量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器，其特征在于：(1)它由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻、框架及上、下玻璃盖板构成；(2)由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻构成的敏感芯片(A)封装在框架中，并且上、下玻璃盖板键合在一起；(3)敏感芯片(A)采用结构对称的双端固支的双质量块；3个敏感薄板的长度相等，其宽度与质量块的宽度相同；压敏电阻设计成单一直线条状，其中外侧的两条安置于敏感薄板梁与锚区交界处，另外两条设置在中央薄板的中间。