含N－乙烯基内酰胺衍生物的共聚物、其制法及光致抗蚀剂

摘要

本发明提供含第3位置被保护的N-乙烯基内酰胺衍生物的共聚物，其由下式代表。用该共聚物作为适合远紫外线方法的光致抗蚀剂，如此可以得到高敏感度和清晰度。除此之外，使用该光致抗蚀剂，可以形成超细电路，在曝光后放置时间(PED)稳定性方面也可以得到改善。∴

主权项

1.一种含N-乙烯基内酰胺衍生物的共聚物，由以下化学式I代表：其中R₁为氢、含1至10个碳原子的烷基、含6至12个碳原子的芳基或含3至9个碳原子的三烷基甲硅烷基；R₂和R₃互不相干地代表氢、含1至10个碳原子的烷基、含6至12个碳原子的芳基、含3至9个碳原子的三烷基甲硅烷基、-OR′、-SO₃R′-、-CO₂R′、-PO₃R′、-SO₂R′或PO₂R′，其中R′为含1至10个碳原子的烷基、环烷基、含选自氮、氧、磷和硫的杂原子的环基或含6至12个碳原子的芳基；R₄和R₅互不相干地代表-OH、-OR，其中R为含1至10个碳原子的烷基或含6至12个碳原子的芳基，或与R₁同义；R₇和R₉互不相干地代表氢、含1至10个碳原子的烷基、含6至12个碳原子的芳基或含3至9个碳原子的三烷基甲硅烷基；R₆和R₈互不相干地代表含6至20个碳原子的芳基或丙烯酸酯-COOR″，其中R″为含1至10个碳原子的烷基或含6至12个碳原子的芳基；m为0至10的整数；j为0.005至0.7的摩尔比；以及k和1，可相同或不同，各自为0.05至0.9的摩尔比。