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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR TREATING THE SURFACE OF ELECTRICALLY INSULATING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1339895(A1) 申请公布日期 2003.09.03
申请号 EP20010992802 申请日期 2001.10.30
申请人 FRAUENHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 KLAGES, CLAUS-PETER;JUNG, THOMAS
分类号 C23C16/509;C23C16/54;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/509 主分类号 C23C16/509
代理机构 代理人
主权项
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