| 发明名称 |
Thermoelectric cooling in gas-assisted focused ion beam (FIB) system |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0838836(B1) |
申请公布日期 |
2003.09.03 |
| 申请号 |
EP19970402304 |
申请日期 |
1997.10.01 |
| 申请人 |
SCHLUMBERGER TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
CECERE, MICHAEL A. |
| 分类号 |
G01R31/302;C23C14/22;C23C16/44;C23C16/455;F25B21/04;G05D23/20;H01J37/305;(IPC1-7):H01J37/305;H01J37/30;H01J37/304;C23C16/04;H01L21/768 |
主分类号 |
G01R31/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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